1. Ruler usuli
Tez-tez ishlatiladigan tekislik va tekis o'lchagich yorug'lik oralig'i usuli va indikator usuli bilan o'lchanadi (o'lchagichga qarang). To'g'ri hisoblagich ham ishlatilishi mumkin. To'g'ri o'lchash vositasi - bu tekislik xatosini o'lchash uchun tekislik va indikator usulidan foydalanadigan uzunlikni o'lchash vositasi. Kvarts o'lchagichining o'lchash yuzasini ma'lum tekislik bilan o'lchangan tekis chiziq bilan taqqoslash uchun oladi va o'lchanadigan qismning profil shaklini yozadi yoki aniqlik xatosini elektr uzunligi sensori, mos keladigan elektron qism va qayd etish moslamasi orqali chiqaradi.
2. Optik kollimatsiya
Tekislik xatosi optik kollimatsion teleskop tizimi bilan o'lchanadi. Kolimatsiya qiluvchi teleskop tizimi kollimatsion naycha va teleskopdan iborat. Yorug'lik manbasidan chiqadigan yorug'lik xochni ajratuvchi plastinka 1 va ob'ektiv linzalari 1 orqali chiqariladi, so'ngra parallel nur orqali chiqariladi va keyin teleskopda ob'ektiv 2 ning fokus tekisligida joylashgan xoch ajratuvchi plastinka 2 ga aylanadi. , va ko'zoynak orqali o'qing. Masalan, agar teleskop va kollimator o'lchangan sirtga joylashtirilsa (masalan, hidoyat rayi), kollimator siljiganida, agar kollimator tomonidan chiqarilgan chiziqning tasviri 2-rasmning kesishish chizig'iga to'g'ri kelsa. to'g'rilik yaxshi ekanligini anglatadi; agar og'ish bo'lsa, bu kollimatorning optik o'qi teleskopning optik o'qi bilan burchakka burilishini anglatadi. To'g'ri xatolik ma'lumotni qayta ishlash orqali olinishi mumkin. Optik kollimatsiya tamoyilidan foydalangan holda to'g'ri xatolikni o'lchash vositasi kollimatsiya teleskopi deb nomlanadi. Kolimatsiya trubkasi, shuningdek, konsentrik doirani ajratuvchi plastinka bilan ta'minlangan. Teleskop shuningdek, ichki fokusli linzalar guruhi va o'qish tizimi uchun parallel plastinka oynalar bilan jihozlangan. Fokuslash uchun ichki fokusli linzalar guruhini ishlatib, konsentrik doirani ajratuvchi plastinkadagi konsentrik doiralarni bo'linuvchi 2-plastinkada tasvirlash mumkin. Shu tarzda ikkita optik o'qning ofsetini o'lchash mumkin. Katta mashinada (masalan, bug 'turbinasi) har bir qo'llab-quvvatlanadigan teshikning koaksiallik xatosini o'lchash uchun kollimatsion teleskopdan foydalanish mumkin.
Optik avtokollimatsiya avtokollimator bilan o'lchanadi. O'lchash kerak bo'lgan butun uzunlik bir necha qismga bo'linadi va har bir qismning egilish burchagi o'lchanadi. To'g'ri chizishni chizish yoki hisoblash orqali hisoblang.
3. Gravitatsiya usuli
To'g'rilik suyuqlik darajasi avtomatik ravishda yoki og'irlik avtomatik ravishda to'g'ri ushlab turadigan tortishish hodisasi bilan o'lchanadi. Tez-tez ishlatiladigan o'lchov vositasi daraja asbobidir. Bundan tashqari, o'lchangan sirt bilan solishtirganda tekislik xatosini o'lchash uchun suyuqlik darajasini o'lchash yuzasi sifatida ishlatadi.